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概況及原理 羅茨真空泵又稱機械增壓泵,是一種旋轉式容積真空泵。二個三葉轉子與泵腔保持一定的間隙,通過一對同步反向旋轉齒輪使二個轉子在泵腔內旋轉時互相不接觸并保持一定間隙。右圖為泵的結構原理圖,從圖Ⅰ至Ⅳ為轉子在泵腔內旋轉并完成一次吸、排氣的過程。 主要特點: ? 轉速高、容積效率高。 ? 結構簡單,操作、維護方便。 ? 轉子被鎖緊,無軸向串動現象。 ? 采用高精度傳動齒輪和良好的動平衡,噪聲低、運